半導體淨（jìng）化車間級別
作者： 廣東卓為環境科技有限公司官（guān）網發（fā）表時間：2024-09-25 09:08:01瀏（liú）覽（lǎn）量：331【小中大（dà）】
半導（dǎo）體淨化車間級別（bié）主要根據空氣中允許（xǔ）的顆粒物數（shù）量和大小來劃分，以確保半導體製造過程中的高潔淨度環境。以下是半導（dǎo）體淨化車間級別的詳細劃分和歸納：
半導體淨化（huà）車間級別
ISO潔淨度等級：
ISO 14644是國際上常用...
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半導體淨化車間級別主要根據空氣中允許的顆粒物數量和大小來劃分，以確保半導體製造過程中的高潔淨度環境。以（yǐ）下是半導體淨化車間級別的詳細劃分和歸納：
半導體淨化車間級別
ISO潔（jié）淨度等級：
ISO 14644是國際上常用的潔淨室標準，它定義了從ISO 1（最高潔淨度）到（dào）ISO 9（最（zuì）低潔淨度（dù））的多（duō）個等級。但在半導體製造中，通常使用更高的潔淨（jìng）度等級。
常見半導體淨化車間等級：
ISO 5級（Class 100）：潔淨室內（nèi）每立方米空氣（qì）中（zhōng）直徑大於0.1μm的顆粒數不（bú）超（chāo）過100個。這是半導體製造中常（cháng）用的高潔淨度等（děng）級，用於關鍵的生產步（bù）驟。
ISO 6級（Class 1000）：潔淨（jìng）室內每立方米空氣中直徑大於0.1μm的顆粒數不（bú）超過1000個。用於對潔淨度要求稍（shāo）低的生產步驟（zhòu）。
ISO 7級（Class 10000）：潔淨室內每立方米空氣中直徑大於0.5μm的顆粒數不超過10000個。在一些半（bàn）導體（tǐ）製造（zào）過程中，這個等級也被采用。
其他等級劃分：
100級、1000級、10000級和100000級：這是另一種常見的潔淨度等級劃分方式，其中100級對（duì）應ISO 5級，1000級對應ISO 6級，以此類推。
超淨間（ULTRAZONE Rooms）：
超淨間也（yě）稱為無菌室或生物安全櫃，其空（kōng）間要求比千級潔淨室更高。在超淨間內工作的人員必須穿特（tè）殊的隔離服並帶麵罩和手套（tào）才能進入室內操作。
潔淨度等級對半導體製造的影響
潔淨度等級越高，車間（jiān）內空（kōng）氣中的（de）顆粒物和微生物（wù）含量（liàng）就越低，從而降低了半導體材料受到汙染的風險，提高（gāo）了產（chǎn）品的質量（liàng）和可靠性。
不同（tóng）等級的潔淨室適用於不同的半導體製造過程，以滿足不同的工藝要求和質量標準。
總結
半導體淨化車（chē）間的級別劃分（fèn）主要基於ISO 14644標準（zhǔn），常見的等級包括ISO 5級（Class 100）、ISO 6級（Class 1000）和ISO 7級（Class 10000）。這些等級通（tōng）過控製車間內空氣中的顆（kē）粒物數量來確（què）保半導體製造過（guò）程的高潔淨（jìng）度環境。同時，超淨間作（zuò）為更高要求的（de）潔淨環境，也在（zài）特定工藝步驟中得到應用。
