一、萬級淨化概括:
萬級淨化主要靠(kào)潔淨(jìng)的氣流不斷稀釋室內的空氣(qì),將(jiāng)室內的汙染逐漸排(pái)出,來實現潔淨效果。室內的氣流是以不均勻的(de)速度呈不平(píng)行(háng)流動,拌有回流(liú)或渦流(liú),不同等級的(de)無塵室,主要是依靠單位(wèi)時間內所送風量(liàng)的不同(tóng)來實(shí)現.。 目前有十(shí)萬級和三十萬(wàn)級兩種標準。
二、萬級(jí)淨化潔淨室:
潔淨室(Clean Room),亦稱為無(wú)塵室或清淨室。
「潔淨室」是指將一定空間範圍內(nèi)之空氣中的(de)微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪(zào)音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不(bú)論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均(jun1)能俱有(yǒu)維持(chí)原(yuán)先所設定要求之潔淨度、溫濕度及(jí)壓力等性能之特性。
三、萬級淨化作用
潔淨室最主(zhǔ)要之作用在於控製產品(如矽芯片(piàn)等)所接觸之大(dà)氣的(de)潔淨度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、製造,此空間老汉私人影院永久入口稱之為「潔淨室」。
世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標(biāo)準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國(guó)製定標(biāo)準作介紹與相互比較。
209E與209D等最大之不(bú)同在於209E表示單位增加了公(gōng)製(zhì)單位,潔淨室等(děng)級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此(cǐ)類推,配合國際公製單位之標準化,M字母(mǔ)後之阿拉伯數目字是(shì)以(yǐ)每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以(yǐ)10的冪次方(fāng)表示,取指數為(wéi)之,若微塵粒子(zǐ)數介於前後二者完全冪次方之間(jiān),則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯邦標準FS
209D都以英製每立方英呎為單位,日本則是采用(yòng)公製,即以(yǐ)每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class
1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則(zé)為Class
8,以每立方公尺中(zhōng)微塵粒子總數中化為10的(de)冪次方,取其(qí)指(zhǐ)數而得。
四、萬級淨化潔淨(jìng)室分類:
(1)、工業潔淨室——以無生命微粒的控製為對象。主要控製空氣塵埃微粒對(duì)工作對象的汙染,內部一般保持正壓(yā)狀態。
它適用於精密機械工業、電(diàn)子工業(半導(dǎo)體、集成電路等(děng))宇航工業、高純度化學工業、原子能(néng)工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
(2)、生物潔淨室,主要控製有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象(xiàng)的汙染。又(yòu)可(kě)分為;
A、
一般生(shēng)物潔淨(jìng)室,主要控製微生物(細菌)對象的(de)汙染。同時其內部材料(liào)要能經受各種滅菌劑侵蝕(shí),內部一般保證正壓。實質上其內部材(cái)料要能經受各種滅菌處理的工業潔淨室。例:製藥工業、醫院(手術(shù)室(shì)、無菌(jun1)病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。B、 生物學安全潔淨室:主要控製工作對象的(de)有生命微粒對外(wài)界和人的汙染。內部要保持與大氣的(de)負壓。例(lì):細菌學、生物學、潔淨實(shí)驗室、物物工程(chéng)(重組基因、疫苗製備)、
五、萬級淨化亂流潔淨室的原理(lǐ)和(hé)特性:
1、定義:亂流潔淨室的定義是氣流以不均勻速度(dù)、不平行流動、伴有回流或渦流的潔淨室.
2、原理:亂流潔淨室(shì)靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將汙染空氣逐漸稀釋,來實現潔淨的(亂流潔淨室(shì)一般(bān)設計在千級以上至30萬級淨化級別)。
3、特性:亂流潔淨室是靠多次換氣來實現潔淨與潔淨級別。換氣次數決定定義中的淨(jìng)化級別(換氣次數越多,淨化級(jí)別越高)
(1)、自淨時間:是指潔淨室按(àn)設計換氣次(cì)數開始送風到潔淨室(shì),室內含塵濃度達到所設計的淨化(huà)級別(bié)的時間。
1,000級希望不(bú)超過(guò)20min(分鍾) (可取15min計算) 10,000級(jí)希望不超過30min(分鍾) (可取25min計算(suàn))
100,000級希望(wàng)不超(chāo)過40min(分鍾) (可取30min計算)
(2)、換(huàn)氣次數(按上述自淨時間要(yào)求設計)1,000級(jí) 43.5—55.3次(cì)/小時 (規範(fàn):50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規範:25次/小(xiǎo)時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規範(fàn):15次/小時)
六、萬(wàn)級淨(jìng)化潔淨室換氣次數估(gū)算:
千級潔淨室不小於(yú)50次/h;
萬級潔淨室(shì)不小於(yú)25次/h;
十萬級潔淨室不(bú)小於15次/h。
萬級換氣次(cì)數[1] ≥25次/小時(shí)(一般取(qǔ)27-28);十萬級換氣次數≥15次(cì)/小時(一般17-18)
但(dàn)是不能盲(máng)目按照換氣次數進行設計(jì)風(fēng)量,要考慮房間及工藝餘熱、餘濕。