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深圳電子光學萬級(jí)無塵車間工程案例

作者: 廣東卓為(wéi)環境科(kē)技有限公司官網發表(biǎo)時間:2017-08-08 10:45:51瀏覽量:3936

  一、萬級淨化概括:
  萬級淨化主要靠潔淨的氣流不斷稀(xī)釋室內的空(kōng)氣,將室內的汙染逐漸排出,來實(shí)現潔淨效(xiào)果。室(shì)內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,拌有回(huí)流或渦流,不同等級的無(wú)塵室,主要是依(yī)靠單位時間(jiān)內所送風量的不同來實現.。 目(mù)前有(yǒu)十萬級和三(sān)十萬級兩種標準。

  二、萬級淨化潔淨室:
  潔淨室(Clean Room),亦稱為無塵室或清淨室。

  「潔淨室」是指將一定空間(jiān)範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌(jun1)等之(zhī)汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照(zhào)明、靜電控製在某(mǒu)一需求(qiú)範圍內,而所給(gěi)予特別設計之房間。亦(yì)即是不論外在之(zhī)空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原(yuán)先所設定要(yào)求之(zhī)潔淨度、溫濕度(dù)及壓力等(děng)性(xìng)能之特性。

  三、萬級淨化作用(yòng)
  潔(jié)淨室最主要之(zhī)作用在於控製產品(pǐn)(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使產品能(néng)在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間老汉私人影院永久入口稱之為「潔淨室」。
  世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為(wéi)多,以下僅就(jiù)209D及209E和世界上其它(tā)各國製定標準作介紹與(yǔ)相互比較。
  209E與209D等最(zuì)大之不同在(zài)於(yú)209E表示單位增加了公製單位,潔淨室等級以(yǐ)‵M′字(zì)頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公製單位之標準化,M字母後之阿拉伯數(shù)目字(zì)是以(yǐ)每立方公尺中>=0.5μm之微塵(chén)粒(lì)子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微(wēi)塵粒子(zǐ)數介於前後二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示(shì)。
  美國聯邦(bāng)標準FS 209D都(dōu)以英製每立方英呎為單位,日本則是采用公製,即以每立(lì)方(fāng)公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最(zuì)好的等級為Class 1,最差則(zé)為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子(zǐ)總數中化(huà)為10的冪次方(fāng),取其指數(shù)而得。

  四、萬級淨化(huà)潔淨室分類:

  (1)、工業潔淨室——以無生命微粒的控製(zhì)為(wéi)對象。主要控製空氣塵埃微粒對工作對象(xiàng)的汙染,內部一般保持正壓狀(zhuàng)態。 它適用於精密機械工業、電(diàn)子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁(cí)產品工業(光盤、膠片、磁帶(dài)生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭(tóu)生產等多行業。
  (2)、生物潔淨室,主要控製有(yǒu)生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象(xiàng)的汙染。又可分為(wéi); A、 一般生物潔淨室,主要控製微生(shēng)物(細菌)對象(xiàng)的汙染(rǎn)。同時其內(nèi)部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。實質上(shàng)其內部材料(liào)要能經受各種滅菌處理的(de)工業潔淨室。例:製藥工業(yè)、醫院(手術室、無菌病房)食品、化(huà)妝品、飲料產品生(shēng)產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。B、 生物學安全潔淨室:主要控製工作對象的有生命微粒對外界和人的汙染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌學(xué)、生物學、潔淨實驗室、物物工程(重組基因、疫苗製備)、

  五、萬級淨化(huà)亂流潔淨室的原理和特性:
  1、定義:亂流潔淨室的定義是氣流以不均(jun1)勻速度、不平(píng)行流動、伴有回流或渦流的潔淨室.
  2、原理(lǐ):亂流潔淨(jìng)室靠送風氣流不(bú)斷稀釋(shì)室內空氣,將汙染空氣逐漸稀釋,來實現潔淨的(亂(luàn)流潔淨室一般(bān)設計在千級以上至30萬級(jí)淨化級別)。
  3、特性:亂(luàn)流潔淨室(shì)是靠多次換氣來(lái)實現潔淨與潔淨(jìng)級別。換氣次數決定定義中的淨化(huà)級別(bié)(換氣次數越多,淨(jìng)化級別越高)
  (1)、自淨(jìng)時間:是指潔淨室按設計換氣次數開始送風(fēng)到潔淨室,室內含(hán)塵濃度達到所設計的淨化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鍾) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鍾) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鍾(zhōng)) (可取30min計算)
  (2)、換氣次數(shù)(按上(shàng)述自(zì)淨時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時(shí) (規(guī)範:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規範:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次(cì)/小時 (規範:15次/小時)

  六、萬級淨化潔淨室換氣次數(shù)估算:

  千級潔淨室不小於50次/h;
  萬級潔淨室不小於25次/h;
  十萬級潔淨室不小於(yú)15次/h。
  萬級換氣次(cì)數[1] ≥25次/小時(一般取27-28);十萬級換氣次數≥15次/小時(一般17-18)
  但是不(bú)能盲目按照換氣次數(shù)進行(háng)設計風量,要考慮房間及工藝餘熱、餘濕。

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